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詳細介紹
新型內阻測試儀
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新型內阻測試儀產品參數: | ||||||||||||||||||||
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![]() | 產品名稱:雙組合四探針方阻/電阻率測試儀 雙電測四探針測試儀 產品型號:KDB-3 |
雙組合四探針方阻/電阻率測試儀 雙電測四探針測試儀 型號:KDB-3
KDB-3雙組合測試儀是根據標準SEMI MF1529設計,雙組合測試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測量半導體電阻率或薄層電阻的方法。在本測試方法中,在測試樣品的每個測量位置上,以兩種不同的方式(配置)將探針連接到提供電流和測量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置”或“配置切換”測量。單組合四探針相比,用較小間距的探針頭就可以進行高精度的測量,從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率。
儀器特點如下:
1、配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。
數字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)
2、可測電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm。
可測方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值;同樣,當四探針頭1、3探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、3探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、4探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、流經硅片的測量電流由高度穩定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器(>10萬次),在緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數,提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
6、可選配軟件進行數據采集,可進行雙組合或單組合測量,實現自動切換電壓檔位、讀取相應電壓值,根據不同方法計算電阻率或方塊電阻值;軟件可對測量數據進行分析,如平均值,大值、小值、大百分變化率、平均百分變化率、徑向不均勻度等內容。
7、可配KDDJ-3電動測試架,自動上下運行,使測量更方便快捷。
8、四探針頭采用上良好的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高
臺式高速常溫離心機 型號:TD3-18K
產品特點:
◎體積適中,兼容性比較好,適合中小型多功能實驗要求。
◎微機控制,變頻電機驅動。
◎10種加減速可設。
◎多彩LED顯示,操作簡便,顯示更為清晰、直觀。
◎自動計算及設置離心力RCF值,轉速離心力可以相互切換、同步顯示。
◎采用電子門鎖,設有速、不平衡等多種保護,增強安全性。
◎配備多種容量轉子,適用不同實驗需要。
技術參數:
型號 | TD3-18K | |||
轉速 | 18500rpm | 離心腔直徑 | φ320mm | |
相對離心力 | 23797×g | 整機噪聲 | < 60dB(A) | |
容量 | 6×50ml | 外形尺寸( 長×寬×高) | 460×360×325mm | |
定時范圍 | 1min~99min | 外包裝尺寸( 長×寬×高) | 530×460×460mm | |
轉速精度 | ±20r/min // | 凈重 | 50kg | |
支持電源 | AC 220±22V 50Hz 10A | 毛重 | 55kg | |
總功率 | 450W | / | / | |
轉子類型 | 序號 | 轉子容量 | 轉速/離心力 | |
角轉子
| 1 | 16×1.5/2.2ml | 18500rpm/23797×g | |
2 | 18×0.5ml | 16000rpm/16000×g | ||
3 | 10×5ml | 15000rpm/15300×g | ||
4 | 24×1.5/2.2ml | 15000rpm/21890×g | ||
5 | 12×10ml | 13000rpm/17370×g | ||
6 | 6×50ml | 12000rpm/ 14550×g | ||
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